pecvd的意思_pecvd的中文翻译|音标|读音|用法|例句

pecvd

中文翻译

abbr.等离子体增强化学汽相沉积（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition）

网络解释

等离子增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapour deposition); 等离子体增强化学气相沉积(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition); 化学气相沉积设备

英文短语

1.VHF-PECVD 甚高频电源；积法；技术

2.RF-PECVD 沉积；气相沉积法；积法

3.PECVD & Photo 排气管道连接；抽气

4.HF-PECVD 热丝

英文例句

1.First of all, plasma physics, PECVD equipment and its process principles are explained.首先，对电浆物理、PECVD设备及制程原理加以阐述。

2.Series of microcrystalline silicon thin films were fabricated by VHF-PECVD at different substrate temperatures (Ts).采用VHF-PECVD技术制备了不同衬底温度的微晶硅薄膜样品。

3.SiN thin films are deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) under various power and pressure conditions.利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺，在不同射频功率，不同反应气压条件下制备了氮化硅薄膜。

4.The electrical and structural properties of microcrystalline silicon thin film and solar cells fabricated by VHF-PECVD were studied.本文对VHF PECVD制备的本征微晶硅薄膜和电池进行了电学特性和结构特性方面的测试分析研究。

5.Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technique is the primary method which is used to prepare hydrogenated silicon film.等离子体化学气相沉积技术制备氢化硅薄膜工艺条件成熟稳定而成为薄膜制备的首选方法。

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